平面度是平台核心精度指标，常用水平仪分段检测法。先将平台表面均匀划分成若干网格，采用框式水平仪或电子水平仪，沿纵向、横向及两条对角线方向逐段移动检测，记录每段气泡偏移或数值显示，通过数据计算得出各测点相对高度差，结果合成整体平面度误差。高精度平台可使用光学平直仪检测，将仪器固定在平台一侧，反射镜沿工作面多条直线方向移动，读取直线度偏差，经数据处理得

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